Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“. Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas. 2000.
Планарная технология — совокупность технологических операций, используемая при изготовлении планарных (плоских, поверхностных) полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Содержание 1 Принципы технологии 2 Основные технолог … Википедия
Strukturierungsbelichtung — paveikslo eksponavimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. pattern exposure vok. Strukturierungsbelichtung, f rus. экспонирование рисунка, n pranc. exposition pour définition de dessin, f; exposition pour définition de motif, f … Radioelektronikos terminų žodynas
exposition pour définition de dessin — paveikslo eksponavimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. pattern exposure vok. Strukturierungsbelichtung, f rus. экспонирование рисунка, n pranc. exposition pour définition de dessin, f; exposition pour définition de motif, f … Radioelektronikos terminų žodynas
exposition pour définition de motif — paveikslo eksponavimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. pattern exposure vok. Strukturierungsbelichtung, f rus. экспонирование рисунка, n pranc. exposition pour définition de dessin, f; exposition pour définition de motif, f … Radioelektronikos terminų žodynas
pattern exposure — paveikslo eksponavimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. pattern exposure vok. Strukturierungsbelichtung, f rus. экспонирование рисунка, n pranc. exposition pour définition de dessin, f; exposition pour définition de motif, f … Radioelektronikos terminų žodynas
paveikslo eksponavimas — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. pattern exposure vok. Strukturierungsbelichtung, f rus. экспонирование рисунка, n pranc. exposition pour définition de dessin, f; exposition pour définition de motif, f … Radioelektronikos terminų žodynas
электронно-лучевая литография — Electron Beam Lithography (EBL) Электронно лучевая литография Метод изготовления субмикронных и наноразмерных деталей путем облучения электрочувствительных поверхностей электронным лучом. Существуют две основные возможности использования… … Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.
electron beam lithography — Electron Beam Lithography (EBL) Электронно лучевая литография Метод изготовления субмикронных и наноразмерных деталей путем облучения электрочувствительных поверхностей электронным лучом. Существуют две основные возможности использования… … Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.
РЕНТГЕНОВСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ — метод микроэлектронной технологии, заключающийся в формировании с субмикронным разрешением защитной маски заданного профиля на поверхности подложки; осуществляется при помощи рентг. излучения длиной волны l 0,4 5 нм; один из методов… … Физическая энциклопедия
ФОТОЛИТОГРАФИЯ — способ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Ф. обычно включает: 1) нанесение фоторезиста на металл, диэлектрик или полупроводник методами центрифугирования, напыления или возгонки; 2) сушку фоторезиста… … Химическая энциклопедия
